【摘 要】
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该论文围绕扫描近场光学显微术在纳米尺度样品的观察和纳米加工中的应用,开展了系列工作,主要结果有:一、从理论和技术上导入了近场光学技术.实现了80nm的光学空间分辨成像,
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该论文围绕扫描近场光学显微术在纳米尺度样品的观察和纳米加工中的应用,开展了系列工作,主要结果有:一、从理论和技术上导入了近场光学技术.实现了80nm的光学空间分辨成像,及透射、反射和偏振等多种成像机制对纳米微结构的观察和研究;二、考察了近场光学显微术及部分相关技术的技术特点.利用图形化的自组装膜考察了表面性质对剪切力显微术成像的影响.根据试验中观察到的"双针尖"成像,对针尖运动造成的膺像和针尖集成化等问题进行了讨论.根据针尖对样品的光热加工的结果,讨论了针尖的热效应问题;三、实现了纳米尺度的近场光学加工.利用近场光诱导光化学反应的原理,在重铬酸盐明胶薄膜上实现了纳米水平的光刻.利用乙酸钯光热分解的性质,构造出纳米级的钯结构,并利用产生的钯对无电镀铜的催化特性,进一步淀积出铜的结构;四、对近场光学存储研究进行了初步的探索.考察了AB型电荷转移复合物薄膜用于近场光学存储的可能性,发展利用自组装方法提高LB膜稳定性的技术;五、在商品化仪器的基础上发展了近场纳米加工的新技术.建立了电场耦合型的扫描近场光学显微系统.初步建立了近场光学写读系统,完成了硬件和软件的改造,并对写入信号进行了模拟.
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