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RF MEMS开关在防御和通讯系统的天线、可调滤波器、移相阵列和开关网络中具有良好的应用前景,与传统的PIN二极管和FET固态开关相比,其具有尺寸小、隔离度高、插入损耗低、功耗低等优点。横向热驱动MEMS开关具有结构简单、驱动电压低、工艺中还可以实现同时加工的特点,是目前RF MEMS开关研究的一个热点。本文通过分析典型静电驱动RF MEMS开关的静态力学特性和动态力学特性,得出静电驱动开关存在驱动电压高,工作过程中容易失效等缺点,提出了将热驱动器应用于RF MEMS开关的结构。根据热膨