【摘 要】
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同步辐射光具有辐射功率高、光谱广阔连续、准直性高、亮度高、偏振性好等优于普通光源的特点。第三代同步辐射光源上海光源的建设使这些优点更加明显,它比第二代光源具有更
【出 处】
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中国科学院研究生院 中国科学院大学
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同步辐射光具有辐射功率高、光谱广阔连续、准直性高、亮度高、偏振性好等优于普通光源的特点。第三代同步辐射光源上海光源的建设使这些优点更加明显,它比第二代光源具有更小的发射度和更高的光谱亮度,同时对光源光束线上精密光学元件也提出了更高的要求。
狭缝装置在光束线上起着限定光束张角,阻挡杂散光等作用,狭缝的宽度决定了待测辐射的波长带宽,直接影响着光学系统的分辨率和光通量。重复精度是指狭缝刀片往一个方向移动任意距离,再反向移动相同距离回到起点位置时,刀片移动前后位置的偏差。测量狭缝重复精度通常需要测量狭缝刀片的面内微小位移。由于光束线使用的狭缝是精密部件且很多要求工作在超高真空环境中,不允许接触式测量；另一方面第三代光源光束线使用的精密狭缝需要进行水冷,结构复杂,在装配完成后接触式测量设备基本无法接触到刀口。因此发展高精度的非接触测量技术是狭缝测试的关键技术。利用非接触法一般是光学方法,常见的有(1)三座标仪测量,(2)光栅位移传感器,(3)光束线X光投影成像。这些方法中,三坐标仪和光栅位移传感测量,都需要接触测量对象,会破坏精密狭缝刀片的表面结构,不能应用于狭缝测量。光束线X光投影测量受到线站使用时间的限制。
本文探索了精密狭缝刀口重复精度的非接触光学检测方法,采用显微成像法和激光投影测量法,并实际测量了光束线使用的精密狭缝。通过测量结果对比发现,显微成像分辨率较高,达到0.5μm,满足精密狭缝检测要求。
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