非制冷热释电薄膜探测器阵列的研制

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该文建立了复合薄膜结构探测器的二维和三维有限元模型,分析计算了探测器的受红辐射时的温度场,讨论了多孔绝热层的绝热效果和敏感元之间由于横向热传导产生的热患扰.利用PSPICE的模拟建模功能(ABM)建立了复合薄膜探测器的热学和电学等效电路模型,分析了探测器敏感元与读出电路连接后的动态响应特性、频率响应特性和噪声特性.在分析了热释电探测器的电压响应信号特性的基础上,设计了可以垂直集成于敏感元下方的前置放大读出电路,分析了电路的直流特性、交流特性和噪声特性.
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