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该文从射频功率、气流量、离子透镜电位、样品提升率等方面,采用单因素法优化仪器工作状态和操作参数.选用混合酸、碱合理解决了难熔金属的溶样问题.选择合适的是介质浓度,充分考虑各种可能存在的干扰,包括介质、基体衍生物、多原子离子、难熔氧化物、同量异位素干扰等.进一步提高了方法的精密度、灵敏度和准确度.用混合内标Ga、In、Tl、Cs、Rh、Sc有效克服了基体影响,建立了一种将ICP-MS直接应用于分析难熔金属Zr、Hf、Mo、W中痕量杂质的新方法.