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【摘 要】
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针对传统集成电路中晶体管集成度所面临的瓶颈，及片上日趋严重的热问题，TSV技术被誉为是一种行之有效的解决途径。这种技术是当今集成电路学科研究的重要发展方向。 当前研
【机 构】
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北京工业大学
【出 处】
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北京工业大学
【发表日期】
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2015年期
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