波长可调谐DBR激光器的研制

来源 :中国科学院半导体研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ysksy
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可调谐激光器是WDM系统和数据交换系统的关键的器件之一,可调谐激光器的运用使得光纤传输系统容量大大增加,灵活性和可扩展性大大增强,成为研究机构研发的热点.该论文围绕可调谐DBR激光器的研制开展了以下几个方面的工作:1.采用LP-MOCVD方法生长出高质量的应变InGaAsP的MQW材料(λ=1.54μm~1.57μm,半高宽~41nm),和无源波导体材料(λ=1.4μm,半高宽~58nm).采用非平面生长工艺,制备出集成器件,为制作波长可调谐DBR激光器奠定基础.2.国内首次提出并制备出单脊集束波导结构DBR可调谐激光器,阈值为32mA,斜率效率~0.18mW/mA,调谐范围2.8nm,在整个调谐过程中,SMSR大于30dB.3.国内首次提出利用两段不同耦合系数(κ)的Bragg光栅分别对波长进行调谐的器件,阈值为38mA,调谐范围3.2nm,在整个调谐过程中,SMSR大于30dB(模式跳变除外),出光功率变化仅为0.3dB;4.国内首次利用类似集束波导结构器件制作工艺,制作出Butt-jointed结构DBR可调谐激光器,阈值为28mA,调谐范围8.7nm,在整个调谐过程中,SMSR大于38dB;5.国内首次利用量子阱混合技术,研制出两段DBR可调谐激光器,阈值为54mA,调谐范围4.6nm,可调四个模式,在整个调谐过程中,SMSR为40dB.
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