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本文主要是针对微作业的特殊性,根据其设计原则,对微操作智能仪器进行了研究.微夹持机构是微操作智能仪器的关键组成部分,本文中选用了热双金属作为夹持元件,结合控制电路,实现了夹持力的准确控制以及摆控制.
微操作智能仪器的研究
【摘 要】
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本文主要是针对微作业的特殊性,根据其设计原则,对微操作智能仪器进行了研究.微夹持机构是微操作智能仪器的关键组成部分,本文中选用了热双金属作为夹持元件,结合控制电路,实
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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