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射频磁控溅射法制备高质量六方氮化硼薄膜的研究
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,吉林长春,130012吉林农业大学信息技术学院,吉林长春,130012吉林大学通信工程学院光通信系,吉林长春,130012
【出 处】
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第二十届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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2015年7期
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