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InAsInAsSb中波红外超晶格材料的MOCVD生长
【机 构】
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哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨,150001中国科学院半导体研究所,半导体材料科学重点实验室,北京100083哈尔滨工业大学材料科学与工程学院,黑龙江哈尔滨,150001;中国科学院半
【出 处】
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第二十届全国半导体物理学术会议
【发表日期】
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2015年7期
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