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通过直流反应磁控溅射法在Si(111)衬底上制备了不同Fe掺杂量的ZnO薄膜。室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,所有样品的PL谱均观察到430nm左右的蓝光发光带,该发光带的强度与Fe掺杂量有关。Fe掺杂量为8％时,ZnO薄膜的PL谱中出现了较强的蓝光双峰。对样品的蓝光发光机制进行了探讨。
Fe掺杂ZnO薄膜的发光特性研究
【摘 要】
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通过直流反应磁控溅射法在Si(111)衬底上制备了不同Fe掺杂量的ZnO薄膜。室温下测量了样品的光致发光(PL)谱,所有样品的PL谱均观察到430nm左右的蓝光发光带,该发光带的强度与F
【机 构】
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聊城大学 物理科学与信息工程学院,山东聊城 252059
【出 处】
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第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
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2008年期
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