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我们利用平面波赝势方法和密度泛函理论对纤锌矿结构ZnO的本征缺陷及其形成能进行了第一性原理的计算。计算分为三种情况讨论:O/Zn=1,O/Zn>1(富含O),O/Zn<1(富含Zn)。计算结果显示在O/Zn=1的情况下具有自身缺陷态具有最低的缺陷形成能。在O/Zn>1 (O/Zn<1)的情况O缺陷具有引人注目的较低的形成能。因而在O/Zn=1自身缺陷态占主导地位,而在O/Zn>1和O/Zn>1的情况下O缺陷占主导地位。对在O空隙和缺陷处周围原子位置也进行了研究。计算结果得到了实验的验证。