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本文主要介绍了半导体器件模拟中常用的流体力学模型和漂移扩散模型,以及它们的数值方法,并结合我们自己开发的软件给出了器件模拟的实例.
流体力学模型在半导体器件模拟中的应用
【摘 要】
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本文主要介绍了半导体器件模拟中常用的流体力学模型和漂移扩散模型,以及它们的数值方法,并结合我们自己开发的软件给出了器件模拟的实例.
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
【发表日期】
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2001年期
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