【摘 要】
：
微波介质材料薄膜化研究已成为近年来微波器件与电路集成化的趋势。为了获得良好的介电性能,往往需要材料的处理温度较高(通常高于800℃),这会造成与单片微波集成电路(MM
【机 构】
：
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,四川成都610054
论文部分内容阅读
微波介质材料薄膜化研究已成为近年来微波器件与电路集成化的趋势。为了获得良好的介电性能,往往需要材料的处理温度较高(通常高于800℃),这会造成与单片微波集成电路(MMIC)工艺的不兼容。因此开发出具有良好微波介电性能的低温处理材料,对于GaN、GaAs MOSFET器件研制以及MMIC的全单片集成有重要价值。本文主要介绍了以超低温烧结材料Zn2Te3O8-30wt％TiTe3O8 (ZTT)为靶材的,以磁控溅射为主要手段制备的ZTT薄膜的超低处理温度及其优良的微波介电性能。通过对Zn-Ti-T系低温微波陶瓷的薄膜化研究,在200℃基片温度下制备出介电常数εr～25,损耗tanδ＜5×10-3,漏电流密度～10-9A/cm2,高击穿电压的低温微波陶瓷薄膜材料。开发了兼容MMIC的金属-绝缘体-金属(MIM)微波电容制作工艺,可实现大容量退耦/旁路电容片上的集成。
其他文献
原子层沉积技术(Atomic Layer Deposition,ALD)可制备无缺陷、超薄的保形性薄膜,常应用于各种材料的表面阻隔层的制备.除了有机光伏(OPV)、有机电致发光器件(EL)和有机发光二
前一阵子,每天晚上10点多,我会一边打着哈欠,一边在电视机前等着看《空镜子》。其实这部片子没什么扣人心弦的曲折情节,打动人的是它那扑面而来的生活气息,你会觉得剧中的人
曾经4次获得奥斯卡最佳女主角奖的好莱坞巨星凯瑟琳·赫本6月29日在她的家中去世,享年96岁。在好莱坞的历史上,有两个赫赫有名的赫本:一个是奥黛丽·赫本,一个是凯瑟琳·赫本
魏晋时期是中国书法自我觉醒的一个时期。由于文人士大夫大量参与书法艺术实践,书法正式地走向审美艺术之路,即开始了真正自觉地体现主体的生命意识。文人的个性风度,气质品
石墨烯作为一种碳原子所组成的二维蜂窝状结构晶体，具有诸多优异的特性，从而倍受全世界科学工作者的关注。在碳化硅衬底上外延生长石墨烯是实现石墨烯在微电子领域中应用的
生活中,睡眠差常常被当成是小毛病,可一旦失眠,人们就会苦不堪言。大部分人把失眠仅当做生理性疾病,接受内科、针灸、理疗、中医等多种治疗方法,而不愿去看心理门诊,然而因心
请下载后查看，本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
糖用甜菜的采种栽培,主要采用在秋季收获窖藏,春季定植的方法,由于这些工作的时间要求很紧迫而且工作量巨大,这就形成了秋季和早春的劳力紧强状态。 为了改变这种种子生产的
菜用豆类中,豌豆耐寒冷,而嫩梢、嫩荚、籽粒都可供食用。我们曾引种北京60天和大荚两个豌豆品种,表现早熟、产量高。六月中旬到七月中旬供市,此时正是本地春夏蔬菜供应不继
乌桕和栗分别是浙江省重要的木本油料和粮食树种。生产实践和科学研究证明,乌桕和栗采用嫁接繁殖,不仅能促使幼树速生丰产,而且还能保持品种原有的优良特性。但是,目前本省