【摘 要】
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石墨烯作为一种碳原子所组成的二维蜂窝状结构晶体，具有诸多优异的特性，从而倍受全世界科学工作者的关注。在碳化硅衬底上外延生长石墨烯是实现石墨烯在微电子领域中应用的
【机 构】
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苏州纳米技术与纳米仿生研究所 苏州 212300
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石墨烯作为一种碳原子所组成的二维蜂窝状结构晶体，具有诸多优异的特性，从而倍受全世界科学工作者的关注。在碳化硅衬底上外延生长石墨烯是实现石墨烯在微电子领域中应用的最有效途径之一。利用感应加热的高温CVD设备，先在4H-SiC衬底上外延生长一层2-10微米厚的碳化硅，然后直接再在碳化硅上原位外延生长石墨烯。实现碳化硅-石墨烯的连续生长，从而省去了目前常用在碳化硅上生长石墨烯所需的氢气刻蚀的步骤。通过拉曼光谱、扫描电子显微镜及XPS等测试手段，验证了该方法生长的石墨烯具有较好的晶体质量。
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