钛镍周期性多层膜低温互扩散的掠入射X射线荧光光谱研究

来源 :全国第六届X射线荧光光谱学术报告会与X射线光谱分析研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：my61005122

【摘要】

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掠入射X射线荧光光谱技术(GrazingIncidenceX-RayFluorescence,简称GI-XRF)是常规X射线荧光光谱分析的一个新的分支,在薄膜、多层膜、表面及晶体表面沾污分析方面有其独特的

【作者】

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魏向军徐清

【机构】

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兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000;中科院高能物理研究所,北京,100049中科院高能物理研究所,北京,100049

【出处】

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全国第六届X射线荧光光谱学术报告会与X射线光谱分析研讨会

【发表日期】

：

2005年10期

【关键词】

：

低温互扩散 X射线 X射线荧光光谱光谱分析

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掠入射X射线荧光光谱技术(GrazingIncidenceX-RayFluorescence,简称GI-XRF)是常规X射线荧光光谱分析的一个新的分支,在薄膜、多层膜、表面及晶体表面沾污分析方面有其独特的优势.它既是无损快速的全元素分析,又可以对薄膜材料进行微结构(元素深度分布、厚度、密度、表面界面粗糙度)分析,因此在现代薄膜技术领域正在发挥其重要的作用.本文对此进行了介绍.

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