硅基多孔氧化铝薄膜的解理断裂特性

来源 :第十一次全国电子显微学会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：anyjz

【作者】

：

濮林朱健民吴俊辉

【机构】

：

南京大学物理系固体微结构国家实验室(南京)

【出处】

：

第十一次全国电子显微学会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

硅基多孔氧化铝薄膜解理

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