硅基GaN外延层透射电镜高分辨像分析

来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wzhi8

【作者】

：

张昊翔王宇

【机构】

：

大学硅材料国家重点实验室(杭州)

【出处】

：

第六届全国固体薄膜学术会议

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

硅基外延层透射电镜高分辨

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