【摘 要】
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甲醛是一种典型的室内污染气体,利用气体传感器对其进行实时快速检测具有重要意义.本文首先采用微波水热法成功制备了多孔氧化铟(In2O3)中空球,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区 长春130012
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
甲醛是一种典型的室内污染气体,利用气体传感器对其进行实时快速检测具有重要意义.本文首先采用微波水热法成功制备了多孔氧化铟(In2O3)中空球,并利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其晶体结构和微观形貌进行了表征.结果表明,所制备的氧化铟中空球具有立方相晶体结构,其球壳由许多直径约为50nm纳米的颗粒组成.利用上述材料制作了旁热型甲醛气体传感器,并评价了该传感器的气体敏感特性.与已有的甲醛传感器相比,基于氧化铟中空球的传感器具有更低的工作温度和更高的灵敏度.
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