【摘 要】
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准确、连续监测眼压对青光眼的诊断和治疗具有非常重要意义,MEMS技术的发展使眼压连续监测成为可能,MEMS眼压传感器成为此领域的研究热点.按照传感器是否植入眼内分类,MEMS眼
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验 室北京市北四环西路19号100190
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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准确、连续监测眼压对青光眼的诊断和治疗具有非常重要意义,MEMS技术的发展使眼压连续监测成为可能,MEMS眼压传感器成为此领域的研究热点.按照传感器是否植入眼内分类,MEMS眼压传感器主要分为植入式和非侵入式两类.在调研MEMS眼压传感器研究的基础上,本文系统分析了两类MEMS眼压传感器的研究和发展历程,阐述了两类传感器的工作原理、测量方法和衍生分类,总结归纳了它们在各自研究中所涉及的主要关键技术和技术难点,比较了各种眼压传感器的优缺点和应用特点,并对MEMS眼压传感器的研究发展趋势进行了讨论和展望。
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