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本文给出了基于ST切石英声表面波应变传感器的灵敏度分析方法.采用微扰理论,推导和计算了ST基片在不同传播方向下的声表面波速度的变化,得到应变传感器的灵敏度.结合温度系数和应变灵敏度分析结果,选取应变灵敏度较高且温度系数小的ST-X石英切向,进行实验分析.实验结果和理论计算吻合.
基于ST切石英的声表面波应变传感器的灵敏度分析
【摘 要】
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本文给出了基于ST切石英声表面波应变传感器的灵敏度分析方法.采用微扰理论,推导和计算了ST基片在不同传播方向下的声表面波速度的变化,得到应变传感器的灵敏度.结合温度系数
【机 构】
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北京市燃气集团有限责任公司 北京市100035
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2014年期
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