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磁导率是磁性薄膜研究和应用中的一个基本性能参数,和磁性块材不同,磁性薄膜磁导率的测试没有成熟的技术和商品化的仪器.磁性薄膜体积太小,磁参数微弱不易检测,测试中夹具设计、参数仿真、参数拟合及数据处理过程也比较复杂,会对结果的可重复性和精确度造成影响.我们在利用单端口短路微带线法测磁导率过程中,通过对测试数据的优化处理提高了测试的精度.