靶衬间距相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

靶衬间距相关论文

靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响

采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响......

期刊

激光技术溅射蒙特卡罗模拟粒子密度靶衬间距间距溅射粒子速度分布烧蚀靶面

靶衬间距对激光烧蚀制备纳米Si薄膜物性影响

本工作首先假定烧蚀粒子与环境气体原子为刚性硬球，根据脉冲激光沉积纳米 Si薄膜的原理，采用了Monte Carlo方法，对烧蚀粒子在环境气体......

学位

靶衬间距激光烧蚀纳米Si薄膜制备工艺物性参数

看过本文同时还关注