溅射粒子相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

溅射粒子相关论文

靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响

采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响......

期刊

激光技术溅射蒙特卡罗模拟粒子密度靶衬间距间距溅射粒子速度分布烧蚀靶面

活性屏离子渗氮过程中的溅射和偏压的研究

在活性屏离子渗氮(ASPN)过程中,如果偏压小于工件产生自溅射的偏压阈值,工件表面渗氮层不均匀,甚至渗不上氮,所以溅射和偏压对于活......

学位

活性屏离子渗氮溅射粒子偏压阈值伏安特性渗氮效果

看过本文同时还关注