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阈电压相关论文
注入能量和剂量对阈电压的影响
在目前CMOS器件研制中,由于采用离子注入工艺,使阈电压的调整变的简单易行。在栅氧化膜形成后,通过薄的栅氧化层进行沟道区域注入,......
期刊
阈电压
注入能量
能量值
栅氧化层
离子束注入
PMOS
表面耗尽层
面电荷密度
离子注入
杂质浓度
亚微米埋沟pMOSFET阈电压模型
亚微米埋沟pMOSFET的阈电压模型 ,该模型考虑了热电子发射等短沟道效应 .只要对模型中的符号作相应改变 ,则可作为nMOSFET的模型 ......
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