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钛酸锶钡(BST)相关论文
溅射气压对Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜变容管漏电特性影响研究
在氧气和氩气的混合气体中,采用射频磁控溅射方法在蓝宝石基片上溅射生长了Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜,使用微细加工工艺制备了BST薄......
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溅射气压
钛酸锶钡(BST)
薄膜
变容管
漏电流
调谐率
sputtering pressure
barium strontium titanate (BST
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