还原尾气相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

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氢气安全生产在多晶硅行业的重要性

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三氯氢硅四氯化硅氯硅烷还原尾气多晶硅生产变压吸附高纯硅电子信息还原炉单晶硅片

还原尾气回收氢中氮杂质的分析和净化研究

摘要:本文主要阐述了多晶硅生产中还原尾气回收氢中氮含量过高的问题,并分析了问题产生的原因,结合实际生产和现有工艺设备提出了......

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