表面形貌测量相关论文
半导体加工技术是半导体产业发展的基础,其制造水平将直接影响半导体产品的关键性能参数,因此需要发展与当前加工精度相匹配的检测......
表面形貌是评价物体表面质量的重要因素,表面粗糙度是表现表面形貌的重要参数,表面粗糙度的检测广泛用于工业零部件的加工制造过程......
随着超精密加工技术的发展,越来越多的高集成度的微器件被制造出来。为了保证质量,需要对这些器件的阶高、线宽和表面形貌等特征尺......
基于条纹投射和正弦相位调制技术，提出了一种用于测量物体表面三维形貌信息的光纤干涉系统。通过杨氏双孔结构实现了条纹投射，并以余......
随着结合光、计算机、电子的高精密仪器细微化、自动化、功能广、一体化方向的不断更替,对现代化精密制造检测领域的质量要求越来......
飞秒激光作为本世纪最受关注的技术之一,为精密测量领域时空分辨力的提升提供了突破性的新方法和新技术。这主要体现在两个方面:（1）......
介绍了一种硅V型槽表面形貌测量的可视化方法,分析了谱域OCT的测量原理。利用谱域OCT实验测量系统进行了硅V型槽的成像实验,得到了......
结合超精密制造技术,讨论了轮廓仪测量大曲率半径表面形貌存在的精度缺陷。提出了利用NIKONAutocollimator 6D自准直仪辅助Form Ta......
该文就SPM的理论进行了深入的研究和分析,对SPM的基本结构以及每个环节进行了详细的总结,并从SPM的理论出发,在以前的激光力显微镜......
该文叙述了在线运动表面形貌测量技术在部分膜弹流润滑(PEHL)下的动态磨损研究的重要性,通过分析比较各种现有的接触和非接触测量......
本文论述了一种新型的无衍射光—无衍射结构光。这种新型光束不仅具有传统无衍射光的特点,且光斑为线性结构。它为表面形貌测量提......
本文提出用一种新型的无衍射光—无衍射结构光作为入射光进行物体表面形貌的三角测量。这种新型光束不仅具有传统无衍射光的特点,......
产品的小型化和精密化,使得人们对表面轮廓形貌测量的要求日益迫切。共聚焦显微技术有效地解决了高分辨率、非接触式测量的问题,能......
触针表面形貌测量仪是生产科研中应用广泛的仪器,杠杆式触针由于其结构原因,在测量时会产生非线性误差,影响测量结果的精度。介绍......
