线性化反馈相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

线性化反馈相关论文

晶圆传输平台运动控制系统研究

电子信息产业的核心是集成电路,作为集成电路制造的原材料,晶圆特征尺寸越来越小,而每个晶圆的直径却越来越大以节省制造成本,因此......

学位

晶圆传输轨迹规划运动控制干扰观测器线性化反馈积分滑模控制

晶圆传输平台轨迹规划与控制算法研究

为保证晶圆的平稳快速传输,基于末端位姿调整算法搭建了晶圆传输实验平台,并根据晶圆传输过程中的受力情况得到了末端执行器角度与......

期刊

晶圆传输位姿调整干扰观测器积分滑模控制线性化反馈

看过本文同时还关注