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离子束抛光等量去除的实现及抛光实验
为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除......
期刊
光电子学
光学加工设备
离子束抛光
去除函数
叠加间距
等量去除
optoelectronics
optical processing equipment
io
基于光阑法的变口径离子束去除特性研究
随着现代光学技术的发展,光学加工水平也有明显的进步。一方面是对更大尺寸的光学元件能够实现更高水平的加工精度,另一方面是对光......
学位
离子束抛光
光阑结构
离子源
法拉第杯扫描
等量去除
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