离子束抛光相关论文
随着现代光学系统性能的日益发展,空间目标识别、激光物理聚变、国防武器装备以及紫外和深紫外光刻等技术对超精密光学器件的要求......
针对离轴抛物面镜离子束修形过程中存在的热效应累积和迭代加工效率问题，提出了将总去除量按一定比例划分的分批次加工与变束径加工......
随着高新技术的快速发展，对应用于精密制造业的硬脆材料表面质量提出了越来越高的要求，传统的加工方法难以达到理想的表面精度。超精......
电化学抛光具有效率高、成本低、抛光效果好的特点,是钛合金的常用表面抛光方法,广泛应用在生物医用钛合金的表面处理。本文采用电......
为了提高光学元件的面形精度,精确拟合出离子束去除函数。以去除函数的方均根(RMS)为分析对象,分析不同叠加间距下离子束等量去除......
为了研制出高质量光学表面的离轴非球面碳化硅反射镜，提出一套包括铣磨成型、研磨、粗抛光、表面改性以及精密抛光等工序的完备的离......
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,通常需要对原始面形误差数据进行边缘虚拟延展。要求原始面......
随着现代光学元件制造技术的不断发展和社会需求的日渐提升,无论是以强激光、短波光学为代表的工程光学,还是以大规模集成电路为代......
随着现代光学技术的发展,光学加工水平也有明显的进步。一方面是对更大尺寸的光学元件能够实现更高水平的加工精度,另一方面是对光......
单晶硅反射镜是高能激光系统中的重要元件,其加工质量直接影响着高能激光系统的整体性能指标.针对单晶硅反射镜加工过程中产生的各......
超导纳米线在各类超导热响应探测器中得到广泛应用。超导纳米线响应光子后由超导态转变为电阻态产生热效应是这类探测器的关键机制......
离子束具有加工精度高、可控性好、加工面洁净无污染等优点,利用其加工超光滑光学元件可避免传统机械加工方法所带来的亚表面损伤.......
在光学离子束抛光工艺中,驻留时间求解是一个关键问题.多数驻留时间求解算法要求离子束在工件表面的材料去除速率在加工过程中保持......
从理论上建立了离子束抛光中切向定位误差对加工残差影响的模型,分析发现了该误差对加工残差的影响与面形的梯度有关。特别地分析......
在离子束抛光工艺中,为了提高驻留时间求解算法在工件边缘处的求解精度,需要对原始面形误差数据进行有界光滑延展。推导并提出了一......
根据自行研制的法拉第杯对离子束抛光(IBF)机床中离子束束流密度进行检测,通过束流密度检测实验与去除函数实验的对比,验证了该法......
