空间频域算法相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

空间频域算法相关论文

白光干涉空间频域算法累积相位误差分析及抑制

空间频域算法作为白光干涉测量的重要算法之一,被广泛应用于微纳结构表面形貌测量领域.然而,传统空间频域算法中存在着由被测样品......

期刊

显微白光干涉形貌测量包络信号空间频域算法相位误差累积效应

基于空间频域算法的白光干涉微位移测量法

为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求,提高微位移器位移量的测量精度,在对传统的接触式干涉仪改造的基础上,采用空间频域算......

期刊

光干涉计量微位移测量空间频域算法接触式干涉仪

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