光干涉计量相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

光干涉计量相关论文

基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法

只有解决了薄膜厚度的精确测量问题，才有可能解决薄膜的制备问题。光干涉计量测试技术以波长为计量单位，是一种公认的高精度计量测试......

学位

相位偏移干涉法薄膜厚度测量干涉图相位解包光干涉计量

基于空间频域算法的白光干涉微位移测量法

为了满足光学及精密机械领域精密测量的要求,提高微位移器位移量的测量精度,在对传统的接触式干涉仪改造的基础上,采用空间频域算......

期刊

光干涉计量微位移测量空间频域算法接触式干涉仪

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