硅烷流量相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

硅烷流量相关论文

热丝化学气相沉积参数对微晶硅薄膜材料制备及微结构的影响

在光伏领域中,晶体硅(包括单晶硅和多晶硅)太阳电池一直在市场中占有主导地位(约占95%以上),但是由于晶体硅是体材料,在太阳能电池......

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微晶硅薄膜热丝化学气相沉积硅烷流量沉积时间热丝温度

真空阴极弧制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究

在本文中,我们利用真空阴极弧沉积技术在硅烷、氮气和氩气的混合气氛下成功制备了纳米复合Ti—Si—N薄膜。重点探讨了硅烷流量对薄......

学位

真空阴极电弧薄膜 Ti-Si-N 硅烷反应气体流量

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