白光干涉仪相关论文
为满足晶圆表面质量的测量需求，研究了一种基于原子力显微镜的晶圆表面粗糙度测量方法。首先，介绍了表面粗糙度的定义和评定系数。其......
超精密加工技术在不断朝着加工方法多样化、加工材料广泛化、加工结构复杂化、加工精度精细化发展的同时,对表面轮廓形貌的准确表......
基于光学相关域偏振测量技术的白光干涉仪具有高分辨率,长测量距离,大动态范围等优势,被广泛用来测量光学偏振器件内部的分布式偏......
为了测试保偏光纤环的偏振耦合分布及绕环光纤拍长,采用白光干涉仪对光纤环进行测试.一方面,通过测试获得了光纤环的偏振耦合分布,......
目的:介绍了一种带有标准具测量量块的白光干涉仪.它可以将量块长度通过标准具间隔长度直接溯源至波长基准,能够利用一个标准具的......
在精密磨削加工过程中,砂轮的三维表面微观形貌对工件质量有重要的影响,因此砂轮形貌的测量和分析对优化产品质量、指导砂轮成型有......
柔性铰链具有体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高、导向精度高等诸多特点，被广泛地应用于精密机械、精密测量、精密天平、微......
基于白光干涉的非本征法布里珀罗干涉(EFPI)传感器,具有低频噪声低、可同时进行多参量传感、可实现绝对腔长测量等优点,引起了广泛......
近些年来，高精度加工的需求在不断加大，为了提高产品的成品率及其表面质量，亟需一种高精度的在线测量系统。而白光干涉仪具有高精度、......
白光干涉轮廓仪具有非接触、高精度特点,尤其适合结构性表面测量。针对诸如MEMS、微光学元件等结构性表面水平和垂直大范围测量需......
砂轮是磨削加工中广泛使用的一种磨具，磨削加工直接影响被加工工件的表面质量，因此为了实现对工件表面质量的有效预测和控制，对砂轮表......
作者根据实践经验提出采用F-P标准具及白光干涉仪实现检定1等量块及0级量块将大大提高检定工作效率和检定的不确定度.采用F-P标准......
采用白光扫描干涉法,利用Michelson干涉仪中移动臂的移动补偿保偏光纤中产生的光程差,从而实现对保偏光纤绕组中偏振耦合点的耦合......
使用多个宽带光源构成的组合光源的白光干涉仪，其干涉信号为单个光源干涉信号的叠加，从而使干涉信号强度重新分布。通过理论分析和计......
本文分析了白光干涉仪中多波长值的选择对条纹可见度尤其是对零级条纹附近可见度的影响,给出了使用相干长度都较短的两个和三个波......
