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柔性铰链具有体积小、无机械摩擦、无间隙、运动灵敏度高、导向精度高等诸多特点，被广泛地应用于精密机械、精密测量、精密天平、微纳米技术等领域，并获得了前所未有的高精度和稳定性。垂直扫描白光干涉仪是基于光的干涉原理而研制，由于具有高精度、高速度、高稳定性、非接触测量等优点，被广泛地用于纳米测量、表面粗糙度测量、超精密表面轮廓测量、光学系统评价等光学检验的领域中，其系统中的微位移定位机构的柔性铰链的性能对干涉仪的测量精度具有重要的影响。本文基于研制的用于金刚石砂轮表面形貌测量的压电陶瓷驱动的垂直扫描