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通过介绍蓝宝石衬底上生长氮化铟(InN)单晶薄膜的发展历程,阐述了生长该单晶薄膜的几种方法及生长过程中存在的一些问题和改进措施......
为了沉积高质量的硬质薄膜,避免直流反应溅射出现的靶中毒和打火现象影响薄膜质量和色彩。采用中频反应磁控技术在不锈钢基体上沉......
精密、超精密加工技术的不断发展,要求切削力测量传感器及系统微小化、高精度、高分辨率、高响应、实时性等。研制高精度、能适应......
本文利用直流反应磁控反应溅射技术在不锈钢基体上制备了硬质薄膜(Cr、CrN、 Ti-Si-N)。利用XRD、SEM、EDS、TEM分析了薄膜的物相......
本文针对φ3英寸YBCO高温超导双面薄膜的制备技术，研究了靶材烧制、薄膜膜厚分布、加热器设计与制作，制备出了具有87k超导性的3英寸Y......
近年来硅基纳米材料的研究已成为光电子领域中的一个新的热点,它的核心问题是如何实现高效率的硅基发光器件,以便于同其他的硅基光......
1 引言rn本文从技术的角度对应用于高性能切削(HPC)领域的最先进溅射技术(高电离溅射,HIS)进行了综合阐述并简要介绍了涂层领域未......
