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直拉单晶硅中体微缺陷的轴向分布探究
体微缺陷(BMD)是直拉法制备单晶硅片中最重要的缺陷之一,其密度大小对集成电路的良品率有着重要的影响。本文通过对硅片体微缺陷密......
会议
体微缺陷
氧沉淀
轴向分布
拉晶
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