抛光机理相关论文
单晶硅是半导体工业技术发展的核心,广泛应用于集成电路制造业,其表面质量对半导体器件的性能有重要的影响。化学机械抛光（CMP）技术......
随着集成电路的快速发展,技术节点不断缩小,金属布线越趋复杂,互连金属的物理性能要求也越来越高。铜具有低的电阻率和优越的抗电......
近年来,随着现代科学技术的快速发展,越来越多的光学元件被应用到国防建设等各领域当中。但是传统用于加工超精密光学元件的方法存......
随着电子技术、通信工程和微电子技术等行业的快速进展,对关键零部件的半导体器件不仅要求高平整度、超光滑、亚纳米级的表面粗糙......
化学机械抛光（CMP）是高精密光学器件和超大规模集成电路制造技术中最为有效的平坦化技术之一。CeO2作为重要稀土氧化物抛光材料,其独......
蓝宝石优异的机械性能、稳定的化学性质以及在透光方面的独特的优势,使其被广泛应用于LED产业、军工国防等领域。随着LED产业的不......
单晶SiC具有优异的热学和电学性能,是典型的第三代半导体功率元件材料。为了得到表面无划痕和亚表面损伤的SiC单晶半导体晶片,充分......
碳化硅光学反射镜已经在国民生活各个领域得到广泛应用,但是其抛光机理尚不明确。对碳化硅光学表面抛光机理进行了研究。介绍了陶......
抛光是模具生产制造过程中十分关键的一道工序,当今社会对产品的表面精度的要求日益增加,因此对模具表面抛光精度的要求也随之增加......
轴承钢是目前制造行业中应用范围最广、使用要求最高的钢种之一,也是所有合金钢中检测项目最多及质量要求最严格的钢种,轴承钢广泛......
在高清显示电子产品更新背景下,对面板玻璃耐用性的要求也不断提高.而铝硅酸盐玻璃在化学强化处理后强度更高,具有一定的抗冲击与......
在传统的超声加工中,超声振动系统一般不直接作用于工件,只作为辅助的振动系统。随着近年来超声技术基础研究和不同领域的实际应用......
金属零件的表面光整加工,无论是传统的研磨、抛光还是非传统的光整加工方法,如超声研磨、磁力研磨抛光、电火花超声复合抛光等,都......
“玉文化”是中国传统文化的重要组成部分,中国人对玉石工艺品也有着特殊的情愫。随着经济的发展,我国对玉石工艺品的需求量也在日......
铈基抛光粉是一种优秀的抛光材料,它以其独特的抛光性能及质量,广泛的应用于光学玻璃、电子产品等高科技领域。铈基抛光粉的抛光性......
针对国家重大光学工程等对大口径非球面光学零件的高精度加工迫切需求，在“十五”期间已取得的研究成果基础上，突破数字化高精度光学......
通过回顾化学机械抛光技术的发展历史,概述了化学机械抛光作用机制与实际应用情况,着重阐述了几种重要抛光浆料(如CeO2、SiO2、Al2......
