微陀螺仪相关论文
加工工艺是限制微陀螺性能提高的关键因素,本文对典型解耦型微机械陀螺原理分析基础上,与加工工艺结合进行结构设计,利用溶片工艺......
MEMS微陀螺仪是采用微机电系统加工技术和测控技术研制的一类用来测量角速度和角位移的惯性器件,以体积小、功耗低、可靠稳定等优......
微机械陀螺仪由于其体积小、功耗低以及可靠性高等优点,而在惯性测量领域有着广泛的应用前景。共振隧穿器件是基于分子束外延(MBE)......
