微定位平台相关论文
随着微/纳制造、微/纳装配及微/纳机械系统等微/纳领域的不断进步和发展,相关制造装备、检测技术等对定位精度的要求也越来越高,基......
随着科学技术的高速发展,精密工程技术所涉及的领域越来越广泛,包括微电子技术,纳米技术,精密加工技术,航空航天技术等领域,因此,......
随着第三代半导体的迅速发展,以Micro LED为核心的光照半导体制造设备成为国内外的研究重点。针对Micro LED面板在制造过程中可能......
耦合位移直接影响微定位平台输出精度。控制空间微定位平台耦合位移可以有效提高平台的输出精度。通过控制误差补偿的方式消除微定......
随着科学技术的飞速发展,在航天航空、微电子技术、生物工程、纳米科学等领域中,仪器和设备对微定位系统的要求越来越高,特别是对......
目前,在国防、航天航空、生物工程、微机电系统装配及精密加工及制造等精度要求为微纳米级别的领域,微纳米超精密定位技术被广泛应......
为使压电微定位平台具有良好的性能,采用改进PID控制器对其进行反馈控制.首先,对压电执行器机电特性及平台动力学特性进行分析,建......
微定位平台是微/纳加工与装备测试的核心功能组件。本文以设计大行程、高分辨率微定位平台为目标,以柔度矩阵法、拉格朗日方程、有......
随着近年来微芯片高度集成化、设备微型化、操作精密化等新趋势的日益明显以及微电子、生物医学等纳米技术相关学科的蓬勃发展，使微......
以无摩擦无间隙、响应快、结构紧凑、误差积累小等优点而得到重视和应用的全柔性微动并联机构因为采用了全柔性关节代替了传统的运......
精密定位技术是精密制造、精密测量、精密工程等微观科学领域中的关键技术,微定位平台是精密定位技术中的一项重要载体。本文以理......
微/纳定位技术是微/纳米制造、微观成像、纳米压印、硬盘高密度数据存储及光刻等诸多行业的核心共性技术,但随着相关精密工程及技......
微定位平台在精密制造及微操作等领域具有极其重要的理论研究价值与实际应用意义，本文依托国家自然科学基金课题，对微定位平台的机械......
精密定位技术是提升国家核心竞争力和综合国力的战略选择,而微定位平台的控制系统设计是精密定位技术的关键部分。分布柔度式平面......
