微型机电系统相关论文
利用微型机电系统(MEMS)加工工艺制备微悬臂梁,开发了一种由镀钯薄膜微悬臂梁和光纤布拉格光栅(FBG)组成的氢气敏光纤传感器,通过......
微型机电系统是将微结构的传感、致动和控制集于一体的智能微型装置或系统。微板结构是微型机电系统的典型结构之一,机电耦合问题......
随着MEMS向着产业化的方向发展，建立MEMS集成设计平台是实现MEMS系统、科学、规范化设计的有效手段，对于减少MEMS设计和制造过程的重......
微型机电系统(Micro Electro-Mechanical System，MEMS)是目前一个新兴的学科交叉领域，具有非常广阔的应用前景，是未来世界科学的研究......
MEMS工艺版图三维重构是MEMS CAD关键技术之一，同时也是微机电系统集成平台(MEMS GARDEN 3.0)工艺级核心模块，是实现“top-down”设......
20世纪后半叶，随着大规模集成电路技术和微制造技术的发展，出现了微型机电系统(MEMS)，并且迅速成为当今最有生命力和最具发展前景的机......
动力学特性直接影响微型机电系统的设计及其工作特性的控制。微梁结构是微型机电系统的典型结构之一,本论文研究了机电耦合微梁系......
介绍了一种微型装配系统中的精密定位装置 ,该系统利用了外形尺寸为 2 mm的电磁型微电动机制作了 5mm× 6mm的微型机器人小车作为......
光栅光阀是一种基于微型机电系统(MEMS)工艺的光调制器,利用其表面具有的可选择的变形部分(可动光阀),提供衍射光栅,被应用于投影......
