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微型机电系统是将微结构的传感、致动和控制集于一体的智能微型装置或系统。微板结构是微型机电系统的典型结构之一,机电耦合问题也是微机电系统设计中不可回避的多物理场耦合问题,动力学特性直接影响微型机电系统的设计及其工作特性的控制。本文从自由振动、强迫响应以及仿真方面,对机电耦合微板系统的动力学问题进行了深入和系统的研究,主要研究工作以下:以施加电场力的微板为研究对象,利用连续系统振动原理,建立了系统机电耦合动力学方程。针对四边简支、对边简支对边固定和三边简支一边自由三种不同边界条件,计算了微板在