FeCoSiB薄膜由于具有优良的磁弹性能而受到了人们的广泛关注.本文针对FeCoSiB薄膜材料的应力敏感特性,从理论和实验上研究了FeCoSi......

利用磁控溅射方法在玻璃基片上制备了F eCoS iB薄膜,溅射过程中施加一横向静磁场,并在真空中退火。实验结果表明,F eCoS iB的应力......

基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频......