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摘 要：利用二氯二氢硅与四氯化硅反歧化反应生成三氯氢硅的原理，本文提出一种改善二氯二氢硅的反歧化系统试验的有效措施，对反歧化化......
二氯二氢硅反歧化装置利用二氯二氢硅与四氯化硅的反歧化反应原理，可以有效地将二氯二氢硅转化成多晶硅生产原料三氯氢硅加以回收利......
在多晶硅改良西门子方法生产中，系统中B杂质会富集且很难除去，对产品质量影响很大，另外，运行中会产生一定量的副产物二氯二氢硅，不易回......
