全局平面化相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

全局平面化相关论文

镶嵌钨的化学机械抛光的研究

研究的是ULSI镶嵌钨CMP的选择性 ,化学与机械作用匹配 ,浆料的悬浮及存放和后清洗等问题。 The study is about the ULSI mosaic ......

期刊

化学机械抛光 ULSI 全局平面化后清洗浆料腐蚀电流密度多层布线选择性机械作用抛光垫

ULSI制备中铈在SiO2介质CMP抛光中的作用研究

对ULSI制备中铈(Ce)在Si02介质的CMP中的应用及对Ce胶体抛光液的制备进行了较为深入的实验研究,并对提高抛光效果进行了大量实验.......

期刊

ULSI 化学机械抛光全局平面化 Ce离子抛光浆

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