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ＭＯ（金属有机物）源是ＭＯＣＶＤ技术的重要原料，对ＭＯ源中的金属杂质进行了分析研究。着重讨论了样品的制备、酸度对分析元素谱线强度的影响、基体铝对......
三甲基铝极易燃烧,在作为有机合成原料、化学气相沉积(MOCVD)的铝源、烯烃聚合的催化剂,火箭助燃剂等方面具有重要的应用价值。但......
自20世纪90年代初GaN基LED研制成功以来，随着技术的发展，氮化镓基LED的性能取得了很多突破性进展，日亚公司于1995年宣布蓝光GaN基LED......
三甲基铝是一种高纯金属有机化合物(简称MO源)。是制造高亮度发光二级管(LED)、新一代太阳能电池、相变存储器、半导体激光器、射......
采用自行设计和加工的微波电子回旋共振装置、进气系统和工艺程序,以三甲基铝为前躯体,氧气为氧化剂,HF处理过的单晶硅片为基片,在......
