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化学刻蚀过程中熔石英表面沉积物的形成及其对激光损伤的影响
化学刻蚀是提升熔石英光学元件抗激光损伤性能的重要后处理技术之一,但刻蚀后熔石英表面附着的沉积物对其表面质量、透射性能和抗......
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