TiSiN薄膜相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

TiSiN薄膜相关论文

等离子体增强的磁控溅射TiSiN薄膜结构与耐蚀性

针对磁控溅射固有磁场强度随时间衰减的问题,采用外加磁场增强真空室内等离子密度的方法,在AZ31基体上反应溅射沉积了厚度约2μm的......

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等离子体磁控溅射 TiSiN薄膜腐蚀行为 plasma magnetron sputtering TiSiN film corrosion behavior

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