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TiNi薄膜相关论文
光纤基底TiNi与TiNiCu记忆合金薄膜制备工艺研究
近年来,微型化、智能化、集成化且成本经济的微机电系统受到广泛关注。TiNi基形状记忆合金薄膜具有良好的形状记忆效应、超弹性、......
学位
光纤基底
TiNi薄膜
TiNiCu薄膜
溅射功率
溅射压强
退火温度
扩散工艺制备TiNi薄膜和Ti/Ni扩散偶及Ti-Ni系互扩散行为的研究
TiNi形状记忆合金和纯钛由于其优良的性能而受到广泛关注,尤其是Ti Ni合金薄膜由于具有形状记忆功能而广泛的应用于微驱动行业,而......
学位
扩散工艺
TiNi薄膜
生成顺序
Ti/Ni扩散偶
粗糙度
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